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CMP Slurry 공정의 소재 순도 증가와 농축에 FMX가 사용되고 있으며 전자재료나 필름 생산 시 발생되는 소재들을 FMX를 이용하여 재사용이 가능하게 합니다. 고/액 분리와 액체 시료에서 오염된 입자성 물질들을 제거하여 시료를 재사용 가능하게 하여 원가 절감이나 생산성 향상에 FMX가 주로 적용되어 있습니다.
Nano Material
Chemical/Oil
Recycling
- 공정 단순화 : 기존 2step 공정 단순화로 생산원가 절감 / 원가절감 90% 이상, 기존 대비 20% 농도 향상(TS 10%)
- 공정 개선 : 기존 버려지던 시료 분리 재이용으로 생산수율 증가 / 생산 수율 5% 증가, 유지관리비 80% 절감
- 품질 향상 : 농축 + DF 세척 공정으로 제품 순도 향상 / 순도 200%이상 증가(전도도 : 8.5mS/cm → 40 ㎲/㎝↓)
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Reference
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