세리아(Coloidal Ceria)

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PROJECT

ISSUE

BEBEFIT

RESULT

CMP Slurry(Coloidal Ceria) Concentration & DiaFiltration

세리아 농축 / 정제

공정단순화 : 침전 + 원심분리 → FMX

투자비절감 : 비방폭설비(공장인허가 단축), 생산원가절감 : 유기용매 미사용

품질향상(DF) : 15.6mS/cm → 6.4mS/cm, CMP 연마율 증가

Membrane : 0.05㎛, PTFE / Flux : 58LMH

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