세리아(Ceria)

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BEBEFIT

RESULT

CMP Slurry(Ceria) Concentration & Diafiltration

세리아 분산액의 정제 및 고농축

순도향상(DF): 8.5 ㎳/㎝ → 40 ㎲/㎝↓ / 농도향상: 30~38% → 50%↑

Membrane : 0.05㎛, PTFE / Flux : 180LMH

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Basic Material, Nano Material21 bktJanuary 20, 2020공정단순화, 품질향상