㈜케이씨텍, Ceria 생산용 FMX-P 추가도입

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㈜케이씨텍, 반도체 소재  생산량 증대에 따른  FMX  추가 도입

반도체 장비공급사에서 반도체 소재공급사로 변신 중인 ㈜케이씨텍은  반도체용 슬러리 소재 생산용으로 FMX-P모델을  추가  도입 하였다. 

㈜케이씨텍은 고객사인  반도체 제조사의 생산라인 투자 확대에 따른 슬러리 소재생산량 증대를 위해 FMX-P모델을 추가 도입하였으며,   수 년 전 부터 반도체업종의 자국 우선 주의에 대비하여 반도체 소재 개발 및 투자를 꾸준하게 해왔다.

*㈜케이씨텍은 반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 전공정 장비 및 소모성 재료의 제조 및 판매를 주력 사업으로 영위하는 기업으로서 반도체 CMP 세정 장비, 디스플레이 Wet Station/Coater 장비, 반도체 Slurry 및 디스플레이 소재 등의 라인업을 갖추고 있다.

 *슬러리(Slurry): 기계적(Mechanical) 연마 역할을 하는 연마 입자와 화학적(Chemical) 연마 역할과 각종 기능을 가진 화학 첨가제가 혼합된 용액을 의미한다.

 웨이퍼에서 회로를 형성하는 과정에서 단차(증착된 박막의 두께가 일정하지 않거나 원하는 모양대로 맞물리지 않아서 생기는 틈)가 늘어나자 슬러리로 이를 연마해 단차 이슈를 해 결하려는 수요가 늘어나고 있다. 슬러리가 연마하는 대상, 평탄화하는 대상이 어떤 성분이냐에 따라 절연막용 슬 러리, 금속막(메탈 계열)용 슬러리 등으로 구분 가능하다. 예를 들어 텅스텐 슬러리는 메탈 계열 슬러리이다