㈜케이씨텍, 신소재 실증화 모델 FMX-B5 *2기 추가도입
㈜케이씨텍, CMP Slurry 소재 신제품 개발 공정에 FMX 적용
반도체 장비 및 소재 국산화에 앞장서고 있는 반도체 및 디스플레이 장비/소재 업체인 케이씨텍에서 CMP Slurry 소재 개발용으로 FMX-B5 2기를 추가 도입하였다. CMP Slurry는 반도체 CMP 공정에 사용되는 Slurry로서 연마 대상을 화학적/기계적 연마하는 역할을 한다. 이 Slurry의 들어가는 소재 개발용에 FMX가 적용되었다. 이번 공급으로 기초 연구용 FMX-B, 중규모 연구용 FMX-B5, 실증화 연구용 FMX-P까지 FMX를 공급하여 소재 개발에 도움이 되길 기대하고 있다.
